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现以某微电子工厂中的纯化水设备工程使用膜技术的应用实例实况，说明膜技术在电子工业纯化水制造中的应用。其纯化水制造系统工艺流程见图
。

　　1.前级UF

　　前级UF是用于去除水中的悬浊物、胶体及有机物，降低水的SDI值，确保RO的安全运行。前级UF有5组
，每组45根组件
，共225根组件，进水280m3/h
，透过水250 m3/h，浓缩水排放
，回收率约90%
。UF组件为美国Romicon公司生产，型号HF-BZ-20-PM80，组件直径5in，长43in
，内压式中空纤维膜，纤维直径20mil（0.51mm）
，共有2940根纤维，膜面积132ft2，膜材料为PS（聚砜）
，截留分子量8万。UF前采用5μm保安过滤器。

　　2.一级RO

　　水中加入还原剂Na2SO3（加药量为水中余氯值的1.8倍）以防止余氯氧化腐蚀RO膜，加入防垢剂（NaPO3）6（加药量为5ppm）以防止CaCO3、CaSO4等在RO膜上结垢


，再经5μm 保安过滤器后由高压泵打进一级RO。一级RO有4组
，均为二段
。其中三组为每组8根膜容器
，呈（5+3）排列，第4组为11根膜容器，呈（8+3）排列，膜容器由FRP（玻璃钢）制成
，每根内装6个RO元件
，总共为210个RO元件，进水250m3/h，透过水188m3/h
，浓缩水排放，回收率为75%，脱盐率＞90%（初始脱盐率＞99%），操作压力1.55Mpa。RO元件为美国HYDRANAUTICS(海德能)公司生产，型号CPA3

。元件直径8in
，长40in，卷式膜，膜面积400ft2，膜材料为芳香聚酰胺复合膜
，元件脱盐率≥99.5%。

　　3.二级RO

　　一级RO水箱出水中一部分进入A系统

，先加NaOH（CP级）调节pH为8.2-8.6，使水中CO2生成HCO3-，被二级RO除去，以减轻混床离子交换的负担，采用二级RO可以使混床再生周期延长一倍，减少再生酸碱耗量，并可进一步去除TOC和胶体物质。二级RO前采用3μm保安过滤器，二级RO为一组三段，共10根膜容器，按（6+3+1）排列，每根容器内装6只RO元件，共60只RO元件，进水70m3/h，出水62m3/h，浓水排至超滤水箱，回收率为90%
，脱盐率＞70%(初始脱盐率＞80%)，RO元件的生产厂、型号与一级RO相同
。

　　4.后级UF

　　后级UF是用于去除水中的微粒、微生物、胶体
、有机物等的终端过滤设备。

　　A系统后级UF为3组，每组18支，共54支组件
，进水92 m3/h，出水90 m3/h，浓水排至一级RO水箱，回收率约98%。UF组件为美国Romicon公司生产，型号HF-132-20-PM10
，组件直径5in
，长43in，内压式中空纤维膜，纤维直径20mil(0.51mm)，共有2940根纤维，膜面积132ft2，膜材料为PS（聚砜），截留分子量1万
。

　　B系统后级UF为8组
，每组9支

，共72支组件
，进水168 m3/h，出水164 m3/h
，回收率约98%

，UF组件制造厂及型号与A系统后级UF相同。

　　C系统后级UF有3支组件，进水4 m3/h，出水3.9 m3/h，回收率约98%
，UF元件为美国HYDRANAUTICS公司生产，型号4040-FTV-2120，组件直径3.94in
，长40in，卷式膜
，膜面积55ft2
，膜材料为聚烯烃
，截留分子量5万。

　　5.微滤

　　本系统的微滤可分为三类，第一类为前级UF、RO前的保安过滤器，用于去除水中的悬浊物微粒
，降低水的SDI值，滤芯为PP（聚丙烯）膜摺迭式滤芯，孔径为5μm或3μm。第二类在离子交换后
，用于滤除离子交换树脂碎片
，滤芯为PP膜摺迭式滤芯
，孔径为1μm

。第三类在UV杀菌器后
，用于滤除微生物尸体
，滤芯为N-6（尼龙6）膜摺迭式滤芯，孔径为0.45μm或0.2μm。以上滤芯均为核工业部第八研究所生产

。

　　除上述水站外，该厂还有另几套高纯水制造系统，RO除使用复合膜元件外
，还有使用CA醋酸纤维素膜元件。